Газофазное осаждение кремний-германиевых сплавов
Loading...
Date
item.page.orcid
item.page.doi
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
НТУ "ХПИ"
Abstract
Методом сумісного газофазного осадження при пониженому тиску одержано щільні полікристалічні конденсати Si-Ge сплавів з концентрацією германію від 5 до 30 %, для використання в якості матеріалів для термоелектричних перетворювачів енергії. Досліджено кінетику осадження Si-Ge сплавів. Присутність невеликих добавок германію інтенсифікує процес осадження кремнію. Визначення концентрації германію проводилось ядерно-фізичним методом. Мікрорентгеноспектральні дослідження рівномірності осадження засвідчили високу гомогенність одержаних сплавів.
Dense polycrystallic condensates of Si-Ge alloys were grown by reduced pressure CVD intended for usage as materials for thermoelectric energy converters. The kinetics of a Si-Ge deposition is researched. The presence of the small amounts of germanium intensifies the process of a silicon deposition. The determination of germanium concentration in the samples was made via the nuclear physics technique. The examination, made in the microanalyzer, attested to a high homogeneity of the Si-Ge condensates.
Dense polycrystallic condensates of Si-Ge alloys were grown by reduced pressure CVD intended for usage as materials for thermoelectric energy converters. The kinetics of a Si-Ge deposition is researched. The presence of the small amounts of germanium intensifies the process of a silicon deposition. The determination of germanium concentration in the samples was made via the nuclear physics technique. The examination, made in the microanalyzer, attested to a high homogeneity of the Si-Ge condensates.
Description
Citation
Газофазное осаждение кремний-германиевых сплавов / А. Ю. Журавлев [и др.] // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Химия, химическая технология и экология. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2006. – № 44. – С. 96-100.