Электрохимический синтез пористого кристаллического оксида тантала

Abstract

Самоорганизация наноразмерных структур при электрохимической обработке наиболее ярко проявляется в ходе формирования пористых анодных оксидов металлов (алюминия, титана, вольфрама, ниобия, тантала). Эти оксиды содержат массивы ориентированных перпендикулярно подложке пор. Отличительной особенностью этих пленок является высокая степень упорядоченности в расположении пор и возможность управляемого варьирования диаметра пор в широком диапазоне (от 10 до 150 нм). В работе исследованы особенности электрохимического формирования нанопористых оксидных покрытий на тантале в кислотно-фторидных и органических электролитах.

Self-organization of nanoscale structures during electrochemical processing is most pronounced during the formation of porous anodic metal oxides (aluminum, titanium, tungsten, niobium, tantalum). These oxides contain arrays oriented perpendicular to the pore substrate. A distinctive feature of these films is a high degree of orderliness in the arrangement of pores and the possibility of controlled variation of the pore diameter in a wide range (from 10 to 150 nm). In this work, the features of the electrochemical formation of nanoporous oxide coatings on tantalum in acid-fluoride and organic electrolytes are investigated.