Исследование влияния энергии ионов, их сорта и заряда на величину объема наноструктуры и эффективной плотности тока для получения наноструктур

Abstract

На основе решения совместной задачи теплопроводности и термоупругости получены поля температур и температурных напряжений, в которых выделены зоны, где образуются нанострутктуры. Для большого количества различных ионов их норм и зарядов от 1 до 3 получена зависимость объема наноструктуры и диапазон глубин, на которых реализуются наноструктуры, от энергии и заряда ионов.On the basis of the joint decision problem of heat conduction and thermoelasticity obtained temperature field and thermal stresses, which highlighted areas where nanostrutktury formed. For a large number of different ions to the rules and charges from 1 to 3 were obtained depending on the volume of the nanostructure, and the range of depths in which nanostructures are implemented on the energy and ion charge, determined the effective current density.