(НТУ "ХПИ", 2012) Червоный, И. Ф.; Реков, Ю. В.; Червоный, В. Ф.; Егоров, С. Г.
Рассмотрено влияние характеристик кремниевых затравок на надежность технологического процесса поликристаллических стержней кремния в процессе водородного восстановления хлорсиланов. Показано, что предельная прочность кремния на изгиб является лимитирующим звеном при обеспечении надежности технологического процесса.
