О надежности процесса получения поликристаллического кремния с применением кремниевых затравок
Дата
2012
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУ "ХПИ"
Анотація
Рассмотрено влияние характеристик кремниевых затравок на надежность технологического процесса поликристаллических стержней кремния в процессе водородного восстановления хлорсиланов. Показано, что предельная прочность кремния на изгиб является лимитирующим звеном при обеспечении надежности технологического процесса.
Influence of descriptions of silicon fuses is considered on reliability of technological process of polysilicon bars of silicon in the process of hydrogen renewal of silicon chloride. It is shown that maximum durability of silicon on a bend is a limiting link at providing of reliability of technological process.
Influence of descriptions of silicon fuses is considered on reliability of technological process of polysilicon bars of silicon in the process of hydrogen renewal of silicon chloride. It is shown that maximum durability of silicon on a bend is a limiting link at providing of reliability of technological process.
Опис
Ключові слова
фотоэлектрическая энергетика, монокристаллический кремний, прочность кремния, водородное восстановления хлорсиланов, silicon, polysilicon, silicic fuse, stability of bars of silicon
Бібліографічний опис
О надежности процесса получения поликристаллического кремния с применением кремниевых затравок / И. Ф. Червоный [и др.] // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Новые решения в современных технологиях. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2012. – № 44 (950). – С. 137-143.