О надежности процесса получения поликристаллического кремния с применением кремниевых затравок

Ескіз

Дата

2012

ORCID

DOI

item.page.thesis.degree.name

item.page.thesis.degree.level

item.page.thesis.degree.discipline

item.page.thesis.degree.department

item.page.thesis.degree.grantor

item.page.thesis.degree.advisor

item.page.thesis.degree.committeeMember

Назва журналу

Номер ISSN

Назва тому

Видавець

НТУ "ХПИ"

Анотація

Рассмотрено влияние характеристик кремниевых затравок на надежность технологического процесса поликристаллических стержней кремния в процессе водородного восстановления хлорсиланов. Показано, что предельная прочность кремния на изгиб является лимитирующим звеном при обеспечении надежности технологического процесса.
Influence of descriptions of silicon fuses is considered on reliability of technological process of polysilicon bars of silicon in the process of hydrogen renewal of silicon chloride. It is shown that maximum durability of silicon on a bend is a limiting link at providing of reliability of technological process.

Опис

Ключові слова

фотоэлектрическая энергетика, монокристаллический кремний, прочность кремния, водородное восстановления хлорсиланов, silicon, polysilicon, silicic fuse, stability of bars of silicon

Бібліографічний опис

О надежности процесса получения поликристаллического кремния с применением кремниевых затравок / И. Ф. Червоный [и др.] // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Новые решения в современных технологиях. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2012. – № 44 (950). – С. 137-143.

Колекції

item.page.endorsement

item.page.review

item.page.supplemented

item.page.referenced