Вісник № 44

Переглянути

Зараз показуємо 1 - 1 з 1

Газофазное осаждение кремний-германиевых сплавов
(НТУ "ХПИ", 2006) Журавлев, А. Ю.; Глушко, П. И.; Капустин, В. Л.; Корж, А. Ф.; Семенов, Н. А.; Хованский, Н. А.; Шеремет, Н. И.; Широков, Б. М.
Методом сумісного газофазного осадження при пониженому тиску одержано щільні полікристалічні конденсати Si-Ge сплавів з концентрацією германію від 5 до 30 %, для використання в якості матеріалів для термоелектричних перетворювачів енергії. Досліджено кінетику осадження Si-Ge сплавів. Присутність невеликих добавок германію інтенсифікує процес осадження кремнію. Визначення концентрації германію проводилось ядерно-фізичним методом. Мікрорентгеноспектральні дослідження рівномірності осадження засвідчили високу гомогенність одержаних сплавів.