Представлен прибор контроля скорости растворения материала в процессе электрохимического
травления. Он разработан на базе интерферометра Майкельсона, в основе его работы лежит
принцип интерференции двух когерентных лучей. Разработанная математическая модель интерференционных сигналов. Прибор предназначен для использования в системах автоматизации
процессов электрохимического травления, а также может быть полезным при решении аналогичных задач.
