Кафедри
Постійне посилання на розділhttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/35393
Переглянути
1 результатів
Результати пошуку
Документ Влияние давления азотной атмосферы при осаждении вакуумно-дуговых многопериодных покрытий (Ti, Si)N/MoN на их структуру и свойства(Сумський державний університет, 2016) Береснев, В. М.; Соболь, Олег Валентинович; Мейлехов, Андрей Александрович; Постельник, Анна Александровна; Новиков, В. Ю.; Колесников, Д. А.; Столбовой, Вячеслав Александрович; Немченко, У. С.; Сребнюк, П. А.Используя комплекс методов структурной инженерии включающий: элементный анализ, рентгендифракционные исследования и измерения микротвердости в работе проведен анализ влияния рабочего давления азотной атмосферы при осаждении (PN) на формирование фазово-структурного состояния и механические свойства многопериодных вакуумно-дуговых покрытий системы (Ti,Si)N/MoN. Показано, что в интервале используемых давлений PN = 0,05…0,67 Па при повышении давления происходят изменения на элементном уровне: уменьшается содержание Si, увеличиваются – N и отношения Mo/Ti). На фазовом уровне в основном изменения происходят в слоях на основе молибдена, где с увеличением давления происходит переход. Наибольшая твердость (37,5 ГПа) достигается в этом случае при образовании слоев с изоструктурной кристаллической решеткой. Использование высокотемпературного отжига (1023 K) позволяет повысить твердость покрытий, полученных при относительно невысоком, когда из-за малого содержания азота возможно формирование дополнительной твердой фазы Ti5Si3.