Publication: Дослідження структури ємнісних перетворювачів на основі тонкоплівкової структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃
Loading...
Date
item.page.orcid
DOI
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Одеський національний університет ім. І. І. Мeчникова
Abstract
The article considers the key issue of metal parts liquid free acoustic control and proposed innovative solutions for defectoscopy in industrial production. The main feature of the solution is using flexible thin-film capacitive transducers based on the ITO/polyimide/Al₂O₃ structure with total thickness less than 20 microns. Based on the research of structural and electrical properties of layers with such structure it has been established the optimal conditions to maximize the efficiency of their using as capacitive transducers. A prototype of thin-film capacitive transducer for metal parts acoustic control on the basis of Al/ITO/polyimide/Al₂O₃ composition it has been manufactured.
Description
Citation
Дослідження структури ємнісних перетворювачів на основі тонкоплівкової структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃ / Л. В. Зайцева [та ін.] // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології = Sensor electronics and microsystem technologies. – 2015. – Т. 12, № 2. – С. 42-47.