Методичні вказівки до лабораторних робіт з дисципліни "Вакуумна техніка"

Abstract

Реалізація сучасних технологічних процесів в галузі мікро- та наноелектроніки безпосередньо пов’язані з вакуумною технікою. Для успішної підготовки спеціалістів, що будуть здатні працювати на сучасних підприємствах електронної промисловості, опанування навичок роботи з вакуумною технікою є необхідним. Виконання лабораторних робіт з курсу "Вакуумна техніка" має сприяти більш глибокому засвоєнню теоретичного матеріалу і закріпленню знань, отриманих студентами на лекціях, а також сприяти розвитку навичок наукового дослідження. Для успішного виконання лабораторної роботи кожен студент має перед виконанням роботи попередньо уважно вивчити теоретичний бік явища, на якому базується робота. У методичних вказівках наведено опис лабораторних робіт, які дають уяву про техніку отримання й вимірювання вакууму. Наведено теоретичний матеріал, необхідний для яснішого розуміння й виконання практикуму, а також вказані необхідні завдання й порядок їх виконання. Для самостійного додаткового вивчення наведено список літературних джерел і контрольні запитання до кожної лабораторної роботи, а також наведено додаток з необхідними довідковими даними. Якщо студент не встигає захистити лабораторну роботу до кінця заняття, дозволяється оформити звіт (графіки) з використанням комп’ютерних програм (Excel, Origin) до наступного заняття. Лабораторна робота вважається виконаною після успішно проведеного захисту шляхом співбесіди студента з викладачем (захист звіту + оцінка за теоретичний матеріал). Захист звіту: мета роботи + експериментальна методика + висновки. Теоретичний матеріал: знання фізичних явищ, які вивчалися у даній лабораторній роботі (закони, формули). Приступати до виконання лабораторної роботи дозволяється тільки після отримання допуску від викладача.