Публікація: Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопії
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва видання
ISSN
Назва тому
Видання
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
мікроскопія зондова, сканер, обробка зображень, мікроскопія тунельна, мікроскопія атомно-силова, мікроскопія електросилова, мікроскопія магнітно-силова, спектроскопія рентгенівська, спектроскопія фотоелектронна, спектроскопія оже-електронна, спектроскопія розсіювання повільних іонів, дифракція повільних електронів
Бібліографічний опис
Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопії : навч. посібник : [у 2 т.]. Т. 2 / Г. С. Хрипунов [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : НТУ "ХПІ", 2014. – 198 с.