Наношарові багатоперіодні покриття на основі нітриду цирконію: склад, структура, властивості
Дата
2020
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
ТОВ "Планета-Прінт"
Анотація
Опис
Ключові слова
тонкоплівкові захисні покриття, фізико-механічні властивості, структурна інженерія, твердість, азотна атмосфера, осадження
Бібліографічний опис
Любченко І. В. Наношарові багатоперіодні покриття на основі нітриду цирконію: склад, структура, властивості / І. В. Любченко, Г. О. Постельник, О. В. Соболь // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 28-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2020, [28-30 жовтня 2020 р.] : у 5 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : Планета-Прінт, 2020. – С. 289.