Фазовий склад, структура і напружений стан вакуумно-дугових покриттів TiN, отриманих під впливом високовольтних імпульсів
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУ "ХПІ"
Анотація
Опис
Ключові слова
покриття, нітрид, вакуумна дуга, кристалічна решітка
Бібліографічний опис
Кіданова Н. В. Фазовий склад, структура і напружений стан вакуумно-дугових покриттів TiN, отриманих під впливом високовольтних імпульсів / Н. В. Кіданова, В. Є. Фільчиков, О. В. Соболь // Тези доп. 20-ї Міжнар. наук.-практ. конф. "Інформаційні технології : наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я" (MicroCAD–2012), 15-17 травня 2012 р. / ред. Л. Л. Товажнянський. – Харків : НТУ "ХПІ", 2012. – Ч. 2. – С. 20.