The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C2H2+N2) atmosphere
Вантажиться...
Дата
2018
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Видавець
Анотація
The influence of the pressure of a mixed gaseous atmosphere (80%C2H2+20%N2) and the supply of a high-voltage negative potential in a pulsed form on the elemental and phase composition, structure and physico-mechanical characteristics of the vacuum-arc molybdenum-based coatings. It is shown that in the temperature deposition range 400…550 °С as a result of plasma-chemical reactions, the maximum nitrogen atoms content in the coating does not exceed 1.5 at.%. It is found, that at the maximum pressure of РC2H2+N2= 2.3∙10-1 Pа when the γ-MoC phase is formed, an superhard state of 50.5 GPa (at a constant potential -200 V, without additional high-voltage pulse action) and 51.1 GPa (at a constant potential -200 V, with additional high-voltage pulse action) is reached.
Для вакуумно-дугових покриттів на основі молібдену досліджено вплив тиску змішаної газової атмосфери (80%C2H2+20%N2) і високовольтного негативного потенціалу (подається на підкладку в імпульсної формі) на елементний і фазовий склад, структуру і фізико-механічні характеристики формованого матеріалу. Показано, що в температурному інтервалі підкладки при осадженні 400…550 °С в результаті плазмохімічних реакцій максимальний вміст атомів азоту в покритті не перевищує 1,5 ат.%. Виявлено, що при найбільшому тиску РC2H2+N2 = 2,3∙10-1 Па, коли формується фаза γ-MoC, досягається надтверде стан 50,5 ГПа (при постійному потенціалі -200 В, без додаткового високовольтного імпульсного потенціалу) і 51,1 ГПа (при постійному потенціалі -200 В, з додатковим високовольтним імпульсним потенціалом).
Для вакуумно-дугових покриттів на основі молібдену досліджено вплив тиску змішаної газової атмосфери (80%C2H2+20%N2) і високовольтного негативного потенціалу (подається на підкладку в імпульсної формі) на елементний і фазовий склад, структуру і фізико-механічні характеристики формованого матеріалу. Показано, що в температурному інтервалі підкладки при осадженні 400…550 °С в результаті плазмохімічних реакцій максимальний вміст атомів азоту в покритті не перевищує 1,5 ат.%. Виявлено, що при найбільшому тиску РC2H2+N2 = 2,3∙10-1 Па, коли формується фаза γ-MoC, досягається надтверде стан 50,5 ГПа (при постійному потенціалі -200 В, без додаткового високовольтного імпульсного потенціалу) і 51,1 ГПа (при постійному потенціалі -200 В, з додатковим високовольтним імпульсним потенціалом).
Опис
Ключові слова
gaseous atmosphere, high-voltage, nitrogen atoms, chemical reactions, structural engineering, газова атмосфера, фізико-механічні характеристики, хімічні реакції, структурна інженерія, імпульси, напруга, атоми азоту
Бібліографічний опис
The use of plasma-based deposition with ion implantation technology to produce superhard molybdenum-based coatings in a mixed (C2H2+N2) atmosphere [Electronic resource] / O. V. Sobol [et al.] // Problems of atomic science and technology. – Electronic text data. – 2018. – No. 1 (113). – 6 p. – Access mode: https://vant.kipt.kharkov.ua/TABFRAME2.html, free (date of the application 06.01.2023.).