Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃

Abstract

У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виро­бів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробницт­ва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких ємнісних пе­ретворювачів на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх отримання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового єм­нісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃. .The article considers the key issue of metal parts liquid free acoustic control and proposed innovative solutions for defectoscopy in industrial production. The main feature of the solution is using flexible thin­film capacitive transducers based on the ITO/polyimide/Al₂O₃ structure with total thickness less than 20 microns. Based on the research of structural and electrical properties of layers with such stru cture it has been established the optimal conditions to maximize the efficiency of their using as capacitive transducers. A prototype of thin­film capacitive transducer for metal parts acoustic control on the basis of Al/ITO/polyimide/Al₂O₃ structure it has been manufactured.