Газовая чувствительность пленок нанокристаллического SiC

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЛюбов, Д. В.
dc.contributor.authorСемёнов, А. В.
dc.date.accessioned2024-10-22T10:15:31Z
dc.date.issued2019
dc.identifier.citationЛюбов Д. В. Газовая чувствительность пленок нанокристаллического SiC / Любов Д. В., Семёнов А. В. // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 27-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2019, [15-17 травня 2019 р.] : у 4 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2019. – C. 351.
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/82611
dc.language.isoru
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
dc.subjectполупроводниковые газовые сенсоры
dc.subjectгазочувствительные полупроводниковые материалы
dc.subjectкарбид кремния
dc.subjectпленки нанокристаллического SiC
dc.subjectгазовая атмосфера
dc.titleГазовая чувствительность пленок нанокристаллического SiC
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
MicroCAD_2019_Lyubov_Gazovaya_chuvstvitelnost.pdf
Розмір:
244.45 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
11.28 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я. 2019