О надежности процесса получения поликристаллического кремния с применением кремниевых затравок

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЧервоный, И. Ф.ru
dc.contributor.authorРеков, Ю. В.ru
dc.contributor.authorЧервоный, В. Ф.ru
dc.contributor.authorЕгоров, С. Г.ru
dc.date.accessioned2014-11-26T11:17:31Z
dc.date.available2014-11-26T11:17:31Z
dc.date.issued2012
dc.description.abstractРассмотрено влияние характеристик кремниевых затравок на надежность технологического процесса поликристаллических стержней кремния в процессе водородного восстановления хлорсиланов. Показано, что предельная прочность кремния на изгиб является лимитирующим звеном при обеспечении надежности технологического процесса.ru
dc.description.abstractInfluence of descriptions of silicon fuses is considered on reliability of technological process of polysilicon bars of silicon in the process of hydrogen renewal of silicon chloride. It is shown that maximum durability of silicon on a bend is a limiting link at providing of reliability of technological process.en
dc.identifier.citationО надежности процесса получения поликристаллического кремния с применением кремниевых затравок / И. Ф. Червоный [и др.] // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Новые решения в современных технологиях. – Харьков : НТУ "ХПИ". – 2012. – № 44 (950). – С. 137-143.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/10446
dc.language.isoru
dc.publisherНТУ "ХПИ"ru
dc.subjectфотоэлектрическая энергетикаru
dc.subjectмонокристаллический кремнийru
dc.subjectпрочность кремнияru
dc.subjectводородное восстановления хлорсилановru
dc.subjectsiliconen
dc.subjectpolysiliconen
dc.subjectsilicic fuseen
dc.subjectstability of bars of siliconen
dc.titleО надежности процесса получения поликристаллического кремния с применением кремниевых затравокru
dc.title.alternativeAbout reliability of process of receipt polysilicon with the use of silicic fusesen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
vestnik_HPI_2012_44_Chervonyiy_O_nadezhnosti.pdf
Розмір:
308.93 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.23 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Вісник № 44