Получение субмикрокристаллических (СМК) и нанокристаллических (НК) материалов методами электронно-лучевого испарения и конденсации в вакууме (PVD)

Abstract

Рассматривается возможность получения методом электронно-лучевого испарения и конденсации в вакууме материалов в виде фольг и покрытий с субмикрокристаллической и нанокристаллической структурой. Приведены результаты электронномикроскопических исследований и механических испытаний конденсатов на основе Fe и Cu. Исследовано влияние технологических условий получения на структуру этих материалов.Possibility of reception by a method of electron beam evaporation and condensation in vacuum of materials in the form of foils and coatings with submicrocrystalline and nanocrystalline structure is considered. Results electronic microscopic researches and mechanical tests of condensates on the basis of Fe and Cu are resulted. The influence of technological conditions on the structure of these materials are researched. The influence of technological conditions on the structure of these materials are resulted.