Геттерування генераційно-рекомінаційних центрів в кремнію легованою мікроструктурованою поверхнею
Вантажиться...
Дата
Автори
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
твердотільні елементи фотоелектроніки, детектори, фотоприймачі, ГРЦ, хіміко-динамічне полірування, фотодіоди
Бібліографічний опис
Кукурудзяк М. С. Геттерування генераційно-рекомінаційних центрів в кремнію легованою мікроструктурованою поверхнею. Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я : тези доп. 34-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD-2026, 13-16 травня 2026 р. / ред. Є. І. Сокол ; уклад. Г. В. Лісачук ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" та ін. Харків : НТУ "ХПІ", 2026. С. 105.