Химико-резистивные свойства пленок нанокристаллического SiC

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorЛюбов, Д. В.
dc.contributor.authorСеменов, А. В.
dc.date.accessioned2023-05-07T12:11:58Z
dc.date.available2023-05-07T12:11:58Z
dc.date.issued2020
dc.identifier.citationЛюбов Д. В. Химико-резистивные свойства пленок нанокристаллического SiC / Д. В. Любов, А. В. Семенов // Теоретичні та практичні дослідження молодих вчених : зб. тез доп. 14-ї Міжнар. наук.-практ. конф. магістрантів та аспірантів, 1-4 грудня 2020 р. / ред. Є. І. Сокол ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : НТУ "ХПІ", 2020. – С. 443-444.
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/64872
dc.language.isoru
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
dc.subjectкарбид кремния
dc.subjectполупроводниковые материалы
dc.subjectсиловая электроника
dc.subjectгазочувствительные свойства пленок
dc.titleХимико-резистивные свойства пленок нанокристаллического SiC
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Liubov_Khimiko-rezistivnye_svoistva_2020.pdf
Розмір:
291.25 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
11.28 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

XIV Міжнародна науково-практична конференція магістрантів та аспірантів. 2020