Вплив подачі високовольтного потенціалу в імпульсній формі на структуру та властивості вакуумно-дугових покриттів TiN
Дата
2020
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
вакуумно-дугове осадження, осадження TiN покриттів, розрахунок субструктурних характеристик покриттів
Бібліографічний опис
Пінчук Н. В. Вплив подачі високовольтного потенціалу в імпульсній формі на структуру та властивості вакуумно-дугових покриттів TiN / Н. В. Пінчук, О. В. Соболь // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 28-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2020, [28-30 жовтня 2020 р.] : у 5 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : Планета-Прінт, 2020. – С. 294.