Вплив подачі високовольтного потенціалу в імпульсній формі на структуру та властивості вакуумно-дугових покриттів TiN
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
вакуумно-дугове осадження, осадження TiN покриттів, розрахунок субструктурних характеристик покриттів
Бібліографічний опис
Пінчук Н. В. Вплив подачі високовольтного потенціалу в імпульсній формі на структуру та властивості вакуумно-дугових покриттів TiN / Н. В. Пінчук, О. В. Соболь // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 28-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2020, [28-30 жовтня 2020 р.] : у 5 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : Планета-Прінт, 2020. – С. 294.