Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorВоронов, Д. Л.ru
dc.contributor.authorДевизенко, Александр Юрьевичru
dc.contributor.authorЗубарев, Евгений Николаевичru
dc.contributor.authorКондратенко, Валерий Владимировичru
dc.contributor.authorПеньков, А. В.ru
dc.contributor.authorСеврюкова, Виктория Анатольевнаru
dc.contributor.authorБобков, В. В.ru
dc.contributor.authorПерегон, Т. И.ru
dc.contributor.authorТищенко, Л. П.ru
dc.date.accessioned2022-06-25T23:12:08Z
dc.date.available2022-06-25T23:12:08Z
dc.date.issued2004
dc.description.abstractС помощью рентгеновской дифракции и электронной микроскопии поперечных срезов исследованны структурные изменения в многослойных периодических композициях Mo/Sі во время облучения ионами He. Установлено, что облучение вызывает уменьшение периода многослойной композиции, которое сопровождается уменьшением толщиныслоев молибдена и кремния, возрастанием толщины перемешанных зон и уменьшением их плотности. В многослойном покрытии развиваются сжимающие напряжения.ru
dc.description.abstractЗа допомогою рентгенівської дифракції та електронної мікроскопії поперечних зрізів досліджені структурні зміни в багатошарових періодичних ком-позиціях Mo/Si під час опромінювання іонами He. Встановлено, що опромінювання викликає зменшення періоду багатошарової композиції, яке супроводжується зменшенням товщини шарів молібдену та кремнію, зростанням товщини перемішаних зон та зменшенням їх густини. В багатошаровому покритті розвиваються стискуючі напруги.uk
dc.description.abstractThe structural changes in Mo/Si multilayer coatings induced by He ions irradiation were studied. The electron microscopy of cross-sections and low-angle x-ray diffraction were used. It was shown that irradiation lead to shrinkage of multilayer’s period and thicknesses of Mo and Si layers, growth of mixed zones, decreasing of mixed zone density. Compressing stresses in the coating were formed during irradiationen
dc.identifier.citationНачальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д. Л. Воронов [и др.] // Физическая инженерия поверхности = Physical surface engineering. – 2004. – Т. 2., № 1-2. – С. 54-59.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/57472
dc.language.isoru
dc.publisherХарківський національний університет ім. В. Н. Каразінаuk
dc.subjectмногослойные периодические пленочные композицииru
dc.subjectэлектронная микроскопияru
dc.subjectструктурные измененияru
dc.subjectоблучение ионамиru
dc.subjectмолибденru
dc.subjectкремнийru
dc.titleНачальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами Heru
dc.title.alternativeПочаткові стадії перемішування в багатошарових періодичних покриттях Mo/Si при опроміненні іонами Heuk
dc.title.alternativeInitial Stages of Intermixing in Mo/Si Multilayer Coatings During He Ion Irradiationen
dc.typeArticleru

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
PSE_2004_2_1_2_Voronov_Nachalnye_stadii.PDF
Розмір:
334.18 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.25 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"