Эволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorСеврюкова, Виктория Анатольевнаru
dc.contributor.authorЗубарев, Евгений Николаевичru
dc.contributor.authorКондратенко, Валерий Владимировичru
dc.contributor.authorПершин, Юрий Павловичru
dc.contributor.authorЦебенко, В. О.ru
dc.date.accessioned2014-03-13T12:23:35Z
dc.date.available2014-03-13T12:23:35Z
dc.date.issued2011
dc.identifier.citationЭволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Si / В. А. Севрюкова [и др.] // Физическая инженерия поверхности. – 2011. – № 2, т. 9 – С. 102-114.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4743
dc.language.isoru
dc.publisherХарьковский национальный университет им. В. Н. Каразина; Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украиныru
dc.subjectаморфное состояниеru
dc.subjectкластерru
dc.subjectмежфазные границыru
dc.subjectкристаллизацияru
dc.subjectпросвечивающая электронная микроскопияru
dc.subjectрентгеновская дифрактометрияru
dc.titleЭволюция структуры пленок Мо, полученных методом магнетронного распыления на а-Siru
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
2011_Sevryukova_Evolyutsiya_struktury.PDF
Розмір:
529.38 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
6.73 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"