Структурна інженерія багатошарових та багатоелементних нітридних покриттів, отриманих вакуумно-дуговим випаровуванням
Дата
2019
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
фізичне осадження, парова фаза, вакуумно-дугове випаровування, багатоелементні нітридні покриття, дефекти, імпульс, напруга
Бібліографічний опис
Пінчук Н. В. Структурна інженерія багатошарових та багатоелементних нітридних покриттів, отриманих вакуумно-дуговим випаровуванням / Н. В. Пінчук, О. В. Соболь // XIII Міжнародна науково-практична конференція магістрантів та аспірантів : матеріали конф., 19-22 листопада 2019 р. / ред. Є. І. Сокол ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : НТУ "ХПІ", 2019. – С. 535-536.