Структурна інженерія багатошарових та багатоелементних нітридних покриттів, отриманих вакуумно-дуговим випаровуванням
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
фізичне осадження, парова фаза, вакуумно-дугове випаровування, багатоелементні нітридні покриття, дефекти, імпульс, напруга
Бібліографічний опис
Пінчук Н. В. Структурна інженерія багатошарових та багатоелементних нітридних покриттів, отриманих вакуумно-дуговим випаровуванням / Н. В. Пінчук, О. В. Соболь // XIII Міжнародна науково-практична конференція магістрантів та аспірантів : матеріали конф., 19-22 листопада 2019 р. / ред. Є. І. Сокол ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : НТУ "ХПІ", 2019. – С. 535-536.