Влияние технологических параметров на воспроизводимость электрических свойств пленок SnO₂, полученных методом магнетронного распыления

Abstract

Для создания промышленных технологий изготовления газовых датчиков и фронтальных электродов пленочных солнечных элементов исследовано влияние мощности магнетронного распыления и концентрации кислорода в рабочем газе на воспроизводимость электрической проводимости пленок диоксида олова. Экспериментально показано, что для повышения воспроизводимости электрических свойств необходимо снизить электрическую мощность до 10 Вт и повысить концентрацию кислорода до 50%.

To create industrial technology for preparation gas sensors and front electrode film solar cells effect of the magnetron power sputtering and oxygen concentrations in the working gas on the electrical conductivity SnO₂ thin films was investigated. It is experimentally shown that to increase the reproducibility of the electrical properties is necessary to reduce the electrical power up to 10 W and increase the oxygen concentration to 50%.