Метод управления процедурой приближения и слежения за изменением зазора отсчетного электрода цифрового зонда Кельвина
Дата
2017
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
ФОП Мезіна В.
Анотація
Опис
Ключові слова
цифровой зонд Кельвина, контактная разность потенциалов, коэффициент компенсационной зависимости, система зонд-образец, сигнал
Бібліографічний опис
Метод управления процедурой приближения и слежения за изменением зазора отсчетного электрода цифрового зонда Кельвина / К. В. Пантелеев [и др.] // Актуальні проблеми автоматики та приладобудування : матеріали 1-ї Міжнар. наук.-техн. конф., 7-8 грудня 2017 р. / ред. кол.: П. О. Качанов [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : ФОП Мезіна В., 2017. – С. 180-181.