Метод управления процедурой приближения и слежения за изменением зазора отсчетного электрода цифрового зонда Кельвина
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
ФОП Мезіна В.
Анотація
Опис
Ключові слова
цифровой зонд Кельвина, контактная разность потенциалов, коэффициент компенсационной зависимости, система зонд-образец, сигнал
Бібліографічний опис
Метод управления процедурой приближения и слежения за изменением зазора отсчетного электрода цифрового зонда Кельвина / К. В. Пантелеев [и др.] // Актуальні проблеми автоматики та приладобудування : матеріали 1-ї Міжнар. наук.-техн. конф., 7-8 грудня 2017 р. / ред. кол.: П. О. Качанов [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : ФОП Мезіна В., 2017. – С. 180-181.