Gas-sensing properties of SiC nanocrystalline films with different conductivity type

Вантажиться...
Ескіз

Дата

2019

ORCID

DOI

Науковий ступінь

Рівень дисертації

Шифр та назва спеціальності

Рада захисту

Установа захисту

Науковий керівник

Члени комітету

Видавець

Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"

Анотація

Опис

Ключові слова

electronic semiconductor material, range of chemical sensors, high sensitivity of sensors, gas sensors, crystalline silicon carbide, ability of nanocrystalline SiC films

Бібліографічний опис

Lubov D. V. Gas-sensing properties of SiC nanocrystalline films with different conductivity type / D. V. Lubov, A. V. Semenov // XIII Міжнародна науково-практична конференція магістрантів та аспірантів : матеріали конф., 19-22 листопада 2019 р. / ред. Є. І. Сокол ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : НТУ "ХПІ", 2019. – С. 527-528.