Влияние технологических параметров осаждения на структурное состояние NbN/Cu многослойных покрытий

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorПостельник, Анна Александровнаru
dc.contributor.authorКраевская, Ж. В.ru
dc.contributor.authorСагайдашников, Ю. Е.ru
dc.date.accessioned2023-01-04T13:58:03Z
dc.date.available2023-01-04T13:58:03Z
dc.date.issued2019
dc.identifier.citationПостельник А. А. Влияние технологических параметров осаждения на структурное состояние NbN/Cu многослойных покрытий / А. А. Постельник, Ж. В. Краевская, Ю. Е. Сагайдашников // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 27-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2019, [15-17 травня 2019 р.] : у 4 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2019. – С. 318.ru
dc.identifier.orcidhttps://orcid.org/0000-0002-5290-7566
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/60834
dc.language.isoru
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"uk
dc.subjectнитридыru
dc.subjectструктурная инженерияru
dc.subjectкристаллитыru
dc.subjectхимические реакцииru
dc.subjectвакуумно-дуговые покрытияru
dc.titleВлияние технологических параметров осаждения на структурное состояние NbN/Cu многослойных покрытийru
dc.typeThesisen

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
MicroCAD_2019_Postelnik_Vliyanie.pdf
Розмір:
245.57 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.25 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра "Матеріалознавство"
Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я. 2019