Разработка экономичных токопроводящих контактов для газочувствительных пленочных слоев диоксида олова

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorХрипунов, Геннадий Семеновичru
dc.contributor.authorПирогов, Александр Викторовичru
dc.contributor.authorНовиков, Виталий Александровичru
dc.contributor.authorЗайцев, Роман Валентиновичru
dc.contributor.authorЗайцева, Лилия Васильевнаru
dc.contributor.authorХрипунова, Алина Леонидовнаru
dc.date.accessioned2019-04-08T10:29:42Z
dc.date.available2019-04-08T10:29:42Z
dc.date.issued2014
dc.description.abstractДля снижения себестоимости перспективных для широкомасштабного применения газовых датчиков на основе пленок диоксида олова за счет использования в качестве токопроводящих покрытий пленок алюминия, были проведены исследования влияния режимов работы на морфологию поверхности и кристаллическую структуру пленочных гетеросистем Al/SnO₂. Выявлено, что длительная работа гетеросистем при температурах 400 °С приводит к появлению на поверхности алюминиевой пленки, а затем и на поверхности пленочного слоя диоксида олова частиц олова с размерами до 2 мкм, которые способны нарушить свойства газочувствительные слоя. В работе рассмотрены физические механизмы выявленной межфазного взаимодействия. Предложенная конструкция газового датчика, в которой предусмотрено разграничение температур чувствительного слоя и токоведущих контактов, что позволяет использовать пленки алюминия в указанной приборной структуре.ru
dc.description.abstractFor large-scale application of gas sensors based on tin dioxide films it is necessary to reduce the cost of such devices. This is possible by using aluminum films as conductive coatings. Therefore, the influence of the operating conditions on the surface morphology and crystal structure of Al/SnO₂ film heterosystems was investigated. It was revealed that the long-term operation of the heterosystems at 400 °С leads to the appearance of tin particles with the sizes up to 2 microns on the aluminum film surface and then on the tin dioxide surface. These particles can violate the properties of gas-sensitive layer. The physical mechanisms of the observed interfacial interaction were considered. The design of the gas sensor, which provides separation of temperatures of sensitive layer and current-carrying contacts, was proposed that allows to use aluminum films in the specified devices.en
dc.identifier.citationРазработка экономичных токопроводящих контактов для газочувствительных пленочных слоев диоксида олова / Г. С. Хрипунов [и др.] // Журнал нано- и электронной физики = Journal of Nano- and Electronic Physics. – 2014. – Т. 6, № 2. – С. 02016-1–02016-5.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/40584
dc.language.isoru
dc.publisherСумской государственный университетru
dc.subjectгазовые датчикиru
dc.subjectпленки алюминияru
dc.subjectпленочные гетеросистемыru
dc.subjectмежфазное взаимодействиеru
dc.subjectgas-sensitive sensoren
dc.subjectconductive contacten
dc.subjecttin dioxideen
dc.titleРазработка экономичных токопроводящих контактов для газочувствительных пленочных слоев диоксида оловаru
dc.title.alternativeDevelopment of conductive coatings for gas-sensitive tin dioxide film layersen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
JNEP_2014_6_2_Khripunov_Razrabotka.pdf
Розмір:
463.85 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити
Ліцензійна угода
Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.25 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Зібрання

Кафедра "Природничі науки"
Кафедра "Мікро- та наноелектроніка"