Плёнки нанокристаллического SiC в качестве функциональных слоёв газовых сенсоров
Дата
2018
Автори
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
газовый сенсор, полупроводниковый датчик детектирования, полупроводниковые материалы, мультисенсор, слои нанокристаллического SiC
Бібліографічний опис
Любов Д. В. Плёнки нанокристаллического SiC в качестве функциональных слоёв газовых сенсоров / Д. В. Любов, А. В. Семёнов // XII Міжнародна науково-практична конференція магістрантів та аспірантів : матеріали конф., 17-20 квітня 2018 р. : у 3 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т" [та ін.]. – Харків : НТУ "ХПІ", 2018. – С. 215-216.