Методичні вказівки до виконання комплексної практичної роботи "Профілі розподілу імплантованих частинок і виділеної енергії у твердих тілах"

Abstract

Дане видання є методичними вказівками до практичної роботи «Профілі розподілу імплантованих частинок і виділеної енергії у твердих тілах» за курсом «Радіаційна стійкість матеріалів». Мета роботи – набуття практичних навичок застосування таблиць розподілу пробігів, радіаційних дефектів та виділеної енергії у твердих тілах при іонній імплантації. Завдяки розширенню сфери застосування пучків заряджених частинок у науці та техніці стали більш інтенсивними дослідження процесів взаємодії прискорених іонів із речовиною, головним чином із твердими тілами. Найзначнішим досягненням у цьому науково-технічному напрямі є широке застосування іонної імплантації у технології виробництва елементів мікроелектроніки, зокрема надвеликих інтегральних схем (НВІС). Іонна імплантація застосовується також для модифікації поверхні відповідальних конструкційних елементів виробів точної механіки, що дозволяє отримати унікальні фізичні властивості: міцності, трибологічні, хімічні та магнітні.