Методичні вказівки до виконання комплексної практичної роботи "Комп'ютерне моделювання процесів іонної імплантації, розпилення та іонно-променевого перемішування"

Abstract

Дане видання є методичними вказівками до комплексної практичної роботи «Комп’ютерне моделювання процесів іонної імплантації, розпилення та іонно-променевого перемішування» за курсом «Радіаційна стійкість матеріалів». Мета роботи – придбання навичок моделювання процесів, що відбуваються під час іонної імплантації, за допомогою програмного пакету SRIM. SRIM – це комплект програм, який дозволяє обчислювати місце зупинки та пробіг іонів з енергією від 10 еВ/аом до 2 ГеВ/аом (аом – атомна одиниця маси) у твердих тілах за допомогою квантово-механічного опису іонно-атомних зіткнень. Надалі, під словом "іон" мається на увазі рухомий атом, а під словом "атом" - атом мішені. Взаємодія іона і атома в процесі зіткнення описується екранованим кулонівським потенціалом з урахуванням перезарядки і кореляційних взаємодій між електронними оболонками, що перекриваються.