Кристалічна структура базових шарів телуриду кадмію планарних елементів захисту НВЧ апаратури від електромагнітних імпульсів

Abstract

Для створення фізичних основ промислової технології планарних елементів захисту рентгендифрактометричним методом були досліджені базові шари телуриду кадмію, які були отримані методом термічного вакуумного випаровування при різних температурах підкладки на полікорових пластинах з прошарком молібдену. Було визначено температурні інтервали, які відповідають якісній зміні кристалічної структури плівок телуриду кадмію. Збільшення температури підкладки призводить до формування плівок телуриду кадмію, в яких наявна тільки стабільна кубічна фаза без переважної орієнтації. При цьому збільшення температури підкладки до 300°C призводить до зменшення макродеформацій кубічної фази, про що свідчить наближення періоду кристалічної решітки до теоретичного значення: з a = 6,4870 Å до a = 6.4858 Å. Таким чином, експериментально показано, що для забезпечення стабільних вихідних параметрів елементів захисту отримання плівок телуриду кадмію необхідно проводити при температурі 300°C , оскільки це унеможливлює наявність деградаційних процесів, обумовлених термодінамічно активованим перетворенням метастабільної гексагональної фази в стабільну кубічну фазу.

To create the physical basis of the industrial technology of planar protection elements, base layers of cadmium telluride, which were obtained by the method of thermal vacuum evaporation at different substrate temperatures on polycore plates with a molybdenum interlayer, were investigated using the X-ray diffractometric method. Temperature intervals corresponding to a qualitative change in the crystal structure of cadmium telluride films were determined. A further increase in the temperature of the substrate leads to the formation of cadmium telluride films in which there is only a stable cubic phase without a preferred orientation. At the same time, an increase in the temperature of the substrate to 300°C leads to a decrease in the macrodeformations of the cubic phase, which is evidenced by the approach of the period of the crystal lattice to the theoretical value: from a = 6.4870 Å to a = 6.4858 Å. Thus, it was experimentally shown that in order to ensure stable initial parameters of protection elements, the production of cadmium telluride films must be carried out at a substrate temperature of 300°C, as this prevents the presence of degradation processes due to the thermodynamically activated transformation of the metastable hexagonal phase into a stable cubic phase.