Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопії

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorХрипунов, Геннадій Семеновичuk
dc.contributor.authorЗайцев, Роман Валентиновичuk
dc.contributor.authorХрипунова, Аліна Леонідівнаuk
dc.contributor.authorКіріченко, Михайло Валерійовичuk
dc.contributor.authorМомотенко, Олександра Віталіївнаuk
dc.date.accessioned2019-01-11T11:30:03Z
dc.date.available2019-01-11T11:30:03Z
dc.date.issued2014
dc.identifier.citationФізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопії : навч. посібник : [у 2 т.]. Т. 2 / Г. С. Хрипунов [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : НТУ "ХПІ", 2014. – 198 с.uk
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/39131
dc.language.isouk
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"uk
dc.subjectмікроскопія зондоваuk
dc.subjectсканерuk
dc.subjectобробка зображеньuk
dc.subjectмікроскопія тунельнаuk
dc.subjectмікроскопія атомно-силоваuk
dc.subjectмікроскопія електросиловаuk
dc.subjectмікроскопія магнітно-силоваuk
dc.subjectспектроскопія рентгенівськаuk
dc.subjectспектроскопія фотоелектроннаuk
dc.subjectспектроскопія оже-електроннаuk
dc.subjectспектроскопія розсіювання повільних іонівuk
dc.subjectдифракція повільних електронівuk
dc.titleФізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопіїuk
dc.typeBooken

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
Book_2014_Khrypunov_Fizychne_materialoznavstvo_2.pdf
Розмір:
7.18 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Опис:
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
11.25 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра "Мікро- та наноелектроніка"
Кафедра "Природничі науки"