Состояние и тенденции развития микро- и наноэлектромеханических систем
Дата
2010
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУ "ХПИ"
Анотація
Опис
Ключові слова
микроэлектромеханические системы, наноэлектромеханические системы, структура МЭМС, микросистемная техника
Бібліографічний опис
Клепиков В. Б. Состояние и тенденции развития микро- и наноэлектромеханических систем / В. Б. Клепиков, Д. А. Пшеничников // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Проблемы автоматизированного электропривода. Теория и практика. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2010. – № 28. – С. 34-37.