Состояние и тенденции развития микро- и наноэлектромеханических систем
Дата
2010
ORCID
DOI
item.page.thesis.degree.name
item.page.thesis.degree.level
item.page.thesis.degree.discipline
item.page.thesis.degree.department
item.page.thesis.degree.grantor
item.page.thesis.degree.advisor
item.page.thesis.degree.committeeMember
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
НТУ "ХПИ"
Анотація
Опис
Ключові слова
микроэлектромеханические системы, наноэлектромеханические системы, структура МЭМС, микросистемная техника
Бібліографічний опис
Клепиков В. Б. Состояние и тенденции развития микро- и наноэлектромеханических систем / В. Б. Клепиков, Д. А. Пшеничников // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Проблемы автоматизированного электропривода. Теория и практика. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2010. – № 28. – С. 34-37.