Состояние и тенденции развития микро- и наноэлектромеханических систем

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorКлепиков, Владимир Борисовичru
dc.contributor.authorПшеничников, Дмитрий Алексеевичru
dc.date.accessioned2016-09-20T10:29:41Z
dc.date.available2016-09-20T10:29:41Z
dc.date.issued2010
dc.identifier.citationКлепиков В. Б. Состояние и тенденции развития микро- и наноэлектромеханических систем / В. Б. Клепиков, Д. А. Пшеничников // Вестник Нац. техн. ун-та "ХПИ" : сб. науч. тр. Темат. вып. : Проблемы автоматизированного электропривода. Теория и практика. – Харьков : НТУ "ХПИ", 2010. – № 28. – С. 34-37.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/23287
dc.language.isoru
dc.publisherНТУ "ХПИ"ru
dc.subjectмикроэлектромеханические системыru
dc.subjectнаноэлектромеханические системыru
dc.subjectструктура МЭМСru
dc.subjectмикросистемная техникаru
dc.titleСостояние и тенденции развития микро- и наноэлектромеханических системru
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
vestnik_KhPI_2010_28_Klepikov_Sostoyanie.pdf
Розмір:
528.81 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.23 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра "Автоматизовані електромеханічні системи"
Вісник № 28