Scalable automatical silar method for obtaining nanostructured zinc oxide layers

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorSukhov, V. M.
dc.contributor.authorPetrushenko, S. I.
dc.contributor.authorFijalkowski, M.
dc.contributor.authorKlochko, N. P.
dc.contributor.authorKopach, V. R.
dc.contributor.authorDukarov, S. V.
dc.date.accessioned2023-11-27T07:24:27Z
dc.date.available2023-11-27T07:24:27Z
dc.date.issued2023
dc.identifier.citationScalable automatical silar method for obtaining nanostructured zinc oxide layers / V. M. Sukhov, S. I. Petrushenko, M. Fijalkowski, N. P. Klochko, V. R. Kopach, S. V. Dukarov // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 31-ї Міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD-2023, 17-20 травня 2023 р. / ред. Є. І. Сокол ; уклад. Г. В. Лісачук. – Харків : НТУ "ХПІ", 2023. – С. 453.
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/71221
dc.language.isoen
dc.publisherНаціональний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
dc.subjectthin-film technologies
dc.subjectnanostructured semiconductor materials
dc.subjectSuccessive Ionic Layer Adsorption and Reaction
dc.subjectSILAR
dc.subjectmethod for depositing semiconductor thin films
dc.subjectscalable automatic SILAR method
dc.subjectuniversal motorized computer numerical control platform
dc.subject3D printers
dc.subjectnanostructured films of zinc oxide
dc.subjectтонкоплівкові технології
dc.subjectнаноструктуровані напівпровідникові матеріали
dc.subjectпослідовна адсорбція та реакція іонного шару
dc.subjectметод осадження тонких напівпровідникових плівок
dc.subjectмасштабований автоматичний метод SILAR
dc.subjectуніверсальна моторизована комп'ютерна платформа ЧПУ
dc.subject3D принтери
dc.subjectнаноструктуровані плівки оксиду цинку
dc.titleScalable automatical silar method for obtaining nanostructured zinc oxide layers
dc.typeArticle

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
MicroCAD_2023_Sukhov_Scalable.pdf
Розмір:
280.18 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
license.txt
Розмір:
11.18 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я. 2023