Оптимизация газочувствительных свойств nc-SiC пленок в условиях облучения высокоэнергетичными электронами
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
ТОВ "Планета-Прінт"
Анотація
Опис
Ключові слова
газовые сенсоры, полупроводниковые газовые сенсоры, радиационные стойкости, обработка электронами
Бібліографічний опис
Оптимизация газочувствительных свойств nc-SiC пленок в условиях облучения высокоэнергетичными электронами / Д. В. Любов, А. В. Семенов, Н. В. Махонин, В. Н. Борискин // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 29-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2021, [18-20 травня 2021 р.] : у 5 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : Планета-Прінт, 2021. – С. 279.