Структурная инженерия многослойной системы TiN/CrN, полученной вакуумно-дуговым испарением

Скорочена інформація про документ
dc.contributor.authorСоболь, Олег Валентиновичru
dc.contributor.authorАндреев, Анатолий Афанасьевичru
dc.contributor.authorГорбань, Виктор Федоровичru
dc.contributor.authorСтолбовой, Вячеслав Александровичru
dc.contributor.authorПинчук, Наталия Владимировнаru
dc.contributor.authorМейлехов, Андрей Александровичru
dc.date.accessioned2015-04-24T12:07:03Z
dc.date.available2015-04-24T12:07:03Z
dc.date.issued2015
dc.description.abstractМетодами рентгеновской дифрактометрии, электронной микроскопии и микроиндентирования исследованы фазовый состав, структура, субструктура и твердость вакуумно-дуговых многослойных покрытий системы TiN / CrN, полученных в интервале давления азота 1x10 – 5…5x10 – 3 Торр при подаче постоянного и импульсного отрицательного потенциала смещения. Установлено формирование двухфазного состояния с преимущественной ориентацией роста кристаллитов. При высоком давлении (1…5)x10 – 3 Торр и подаче отрицательного постоянного потенциала смещения: Uпп = – 20 В – ось текстуры [100], при – 230 В – ось текстуры [111]. Основываясь на исследованиях субструктурного состояния, установлена связь перехода в сверхтвердое (до 57 ГПа) состояние с уменьшением микродеформации и размера кристаллитов в TiN слоях.ru
dc.identifier.citationСтруктурная инженерия многослойной системы TiN/CrN, полученной вакуумно-дуговым испарением / О. В. Соболь [и др.] // Журнал нано- та електронної фізики = Journal of Nano- and Electronic Physics. – 2015. – Т. 7, № 1. – С. 01034-1–01034-6.ru
dc.identifier.urihttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/14411
dc.language.isoru
dc.publisherСумський державний університетuk
dc.subjectвакуумно-дуговой методru
dc.subjectдавлениеru
dc.subjectпотенциал смещенияru
dc.subjectCrNen
dc.subjectTiNen
dc.subjectтекстураru
dc.subjectсубструктураru
dc.subjectмикродеформацияru
dc.subjectразмер кристаллитовru
dc.subjectvacuum-arc methoden
dc.subjectbias potentialen
dc.subjectsubstructureen
dc.subjectmicrostrainen
dc.subjectsize of crystallitesen
dc.titleСтруктурная инженерия многослойной системы TiN/CrN, полученной вакуумно-дуговым испарениемru
dc.title.alternativeStructural Engineering of Multilayer TiN/CrN System Obtained by the Vacuum Arc Evaporationen
dc.typeArticleen

Файли

Контейнер файлів

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз
Назва:
2015_Sobol_Strukturnaya_inzheneriya.pdf
Розмір:
562.88 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Ліцензійна угода

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
Ескіз недоступний
Назва:
license.txt
Розмір:
11.23 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра "Матеріалознавство"