Методичні вказівки до виконання комплексної лабораторно-практичної роботи "Дослідження реакційної дифузії в нанорозмірних шаруватих системах метал-кремній"

Abstract

Дане видання є методичними вказівками щодо виконання комплексної практичної роботи «Дослідження реакційної дифузії в нанорозмірних шаруватих системах метал – кремній» за курсом «Атомна дифузія в твердих тілах». Мета роботи – набуття практичних навичок дослідження реакційної дифузії у шаруватих системах. Отримання рентгенівських дзеркал із необхідними оптичними характеристиками потребує врахування особливостей їхнього утворення. Зокрема, при контакті металу з кремнієм на межфазній межі розділу виникає градієнт хімічного потенціалу, що є рушійною силою перемішування вихідних компонентів. У свою чергу оптичні властивості багатошарових рентгенівських дзеркал істотно залежать від наявності прошарків проміжних фаз на межах розділу шарів вихідних матеріалів. Було помічено, що на початкових стадіях осадження металевої плівки на монокристалічний, полікристалічний чи аморфний кремній навіть за низьких температур на міжфазній межі утворюються аморфні перемішані зони. Відповідно до фазових діаграм рівноважного стану в бінарних системах метал-кремній є ряд твердих розчинів і проміжних фаз - силіцидів.