Реакционная диффузия в наноразмерных слоистых системах металл/кремний
Дата
2011
Автори
ORCID
DOI
doi.org/10.3367/UFNr.0181.201105c.0491
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
РАН
Анотація
Опис
Ключові слова
процессы реакционной диффузии, фазовые превращения в наноразмерных многослойных системах, электронная микроскопия, аморфный силицид, анизотропия диффузии, кремний
Бібліографічний опис
Реакционная диффузия в наноразмерных слоистых системах металл/кремний / Е. Н. зубарев // Успехи физических наук. – 2011. – Т. 181, № 5. – С. 491–520.