Кафедра "Фізика металів і напівпровідників"

Постійне посилання колекціїhttps://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/4703

Офіційний сайт кафедри http://web.kpi.kharkov.ua/fmp

Від 2002 року кафедра має назву "Фізика металів і напівпровідників", попередня назва – кафедра металофізики.

Кафедра металофізики організована в 1930 році у складі фізико-механічного факультету ХММІ. Деканом факультету був у ті роки видатний вчений-фізик, академік Іван Васильович Обреїмов.

Кафедра входить до складу Навчально-наукового інституту комп'ютерного моделювання, прикладної фізики та математики Національного технічного університету "Харківський політехнічний інститут". За час існування кафедрою підготовлено близько 3000 інженерів, у тому числі і для зарубіжних країн.

У складі науково-педагогічного колективу кафедри працюють: 3 доктора та 2 кандидата фізико-математичних наук; 3 співробітника мають звання професора.

Переглянути

Результати пошуку

Зараз показуємо 1 - 1 з 1
  • Ескіз
    Документ
    The influence of working gas pressure on interlayer mixing in magnetron-deposited Mo/Si multilayers
    (American Institute of Physics, 2011) Pershyn, Yuriy P.; Gullikson, E. M.; Artyukov, I. A.; Kondratenko, V. V.; Sevryukova, V. A.; Voronov, D. L.; Zubarev, Evgeniy N.; Vinogradov, A. V.
    Impact of Ar gas pressure (1−4 mTorr) on the growth of amorphous interlayers in Mo/Si multilayers deposited by magnetron sputtering was investigated by small-angle x-ray scattering (l=0.154 nm) and methods of cross-sectional transmission electron microscopy. Some reduction of thickness of the amorphous inter-layers with Ar pressure increase was found, while composition of the layers was enriched with molybdenum. The interface modification resulted in raise of EUV reflectance of the Mo/Si multilayers