Методи дослідження структури тонких плівок

Abstract

Книга являє собою підручник для студентів старших курсів вищих навчальних закладів, присвячений найсучаснішим методам дослідження поверхні твердого тіла - скануючій електронній та зондовій мікроскопії. У підручнику представлена сучасна наукова інформація про можливості атомно-силової та електронної скануючої мікроскопії. Наведено характерні особливості методик атомно-силової мікроскопії, які дозволяють отримувати додаткову інформацію про властивості досліджуваних об'єктів. Розглянуто принцип роботи електронного скануючого мікроскопа і приклади реалізації різних методик для дослідження мікроскопічних об'єктів. Продемонстровані методичні прийоми усунення спотворень одержуваних зображень.