Вплив тиску робочої атмосфери на формування вакуумно-дугових покриттів ZrN та (Zr-Ti-Ta-Hf-V-Nb)N

Abstract

Методами рентгенівської тензометрії, електронної мікроскопії, в поєднанні з вимірюванням механічних характеристик мікроіндентуванням вивчено можливості структурної інженерії покриттів ZrN та (Zr-Ti-Ta-Hf-V-Nb)N шляхом впливу тиску робочої атмосфери при осадженні покриттів на їх структуру та властивості. Встановлені умови одержання, які призводять до формування надтвердих покриттів з твердістю понад 40 ГПа.