Вплив тиску робочої атмосфери на формування вакуумно-дугових покриттів ZrN та (Zr-Ti-Ta-Hf-V-Nb)N

Abstract

Методами рентгенівської тензометрії, електронної мікроскопії, в поєднанні з вимірюванням механічних характеристик мікроіндентуванням вивчено можливості структурної інженерії покриттів ZrN та (Zr-Ti-Ta-Hf-V-Nb)N шляхом впливу тиску робочої атмосфери при осадженні покриттів на їх структуру та властивості. Встановлені умови одержання, які призводять до формування надтвердих покриттів з твердістю понад 40 ГПа.Method of X-ray tensometry, electron microscopy, combined with the measurement of the mechanical characteristics of the microindentation, studied the possibility of structural engineering ZrN and (Zr-Ti-Ta-Hf-V-Nb) N coatings by influence of working atmosphere pressure on the deposition of coatings on their structure and properties. Determined that the multielement coating and coating ZrN, deposited in nitric atmosphere are the single phase based on cubic fcc lattice (structural type NaCl). In all systems of the coatings deposited at the highest pressure 5 · 10-³ Torr deformation texture is formed with the axis [111] perpendicular to the surface growth. Establish conditions receive, which lead to the formation of superhard coatings with a hardness of 40 GPa. High resistance to abrasion is determined by complex influence of three factors: the presence of nanogranular state and almost nontextured structure and high microstrain.