О реализации наноструктур путем легирования при осаждении в вакууме

Abstract

Обсуждаются проблемы диспергирования зеренной структуры вакуумных металлических конденсатов до нанометровой размерности путем варьирования технологических параметров осаждения и легирования парового потока основного металла.The problems of dispersion of the grain structure of vacuum condensed metals to the nanometer dimension by varying the technological deposition parameters and alloying of base metal vapor flow are discussed.