Публікація: Тонкоплівковий ємнісний перетворювач
Вантажиться...
Дата
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва видання
ISSN
Назва тому
Видання
ДП "Український інститут інтелектуальної власності"
Анотація
Тонкоплівковий ємнісний перетворювач на основі гетероструктури діелектрик/провідник містить діелектричний шар та провідний електрод. Діелектричний шар ємнісного перетворювача виконано на основі двошарової структури поліімід/Аl₂О₃, а провідний електрод виконано на основі двошарової прозорої структури ІТО/гребінчастий Аl.
Опис
Ключові слова
патент, корисна модель, металеві вироби, ультразвукові коливання, провідні електроди, хімічні елементи, дефектоскопія
Бібліографічний опис
Пат. на корисну модель 111320 Україна, МПК G01N 29/34 (2006.01). Тонкоплівковий ємнісний перетворювач / Зайцева Л. В., Зайцев Р. В., Хрипунов Г. С., Горкунов Б. М. ; власник НТУ "ХПІ" (Україна). – № u 2016 03899 ; заявл. 11.04.2016 ; опубл. 10.11.2016, Бюл. № 21. – 5 с. : іл.