Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Харківський національний університет ім. В. Н. Каразіна
Анотація
За допомогою рентгенівської дифракції та електронної мікроскопії поперечних зрізів досліджені структурні зміни в багатошарових періодичних ком-позиціях Mo/Si під час опромінювання іонами He. Встановлено, що опромінювання викликає зменшення періоду
багатошарової композиції, яке супроводжується зменшенням товщини шарів молібдену та кремнію, зростанням товщини перемішаних зон та зменшенням їх густини. В багатошаровому покритті розвиваються стискуючі напруги.
Опис
Бібліографічний опис
Начальные стадии перемешивания в многослойных периодических покрытиях Mo/Si при облучении ионами He / Д. Л. Воронов [и др.] // Физическая инженерия поверхности = Physical surface engineering. – 2004. – Т. 2., № 1-2. – С. 54-59.