Застосування інтегрального параметра при аналізі впливу тиску та потенціалів на структуру і твердість вакуумно-дугових покриттів TiN та ZrN
Вантажиться...
Дата
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник/консультант
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
осадження покриттів, режими отримання покриттів, вакуумно-дугові покриття, покриття TiN, покриття ZrN, структурні дослідження, інтегральний параметр, моделювання, макродеформації, перебудова кристалічної решітки
Бібліографічний опис
Терлецький О. С. Застосування інтегрального параметра при аналізі впливу тиску та потенціалів на структуру і твердість вакуумно-дугових покриттів TiN та ZrN / О. С. Терлецький, Н. В. Пінчук // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : тези доп. 30-ї Міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD-2022, 19-21 жовтня 2022 р. / ред. Є. І. Сокол ; уклад. Г. В. Лісачук. – Харків : НТУ "ХПІ", 2022. – С. 224.