Вплив величини потенціалу зсуву на структурну інженерію вакуумно-дугових покриттів на основі ZrN

Abstract

Створення наукових основ структурної інженерії надтонких наношарів в багатошарових нанокомпозитах є основою сучасних технологій формування матеріалів з унікальними функціональними властивостями. Показано, що збільшення від’ємного потенціалу зсуву (від -70 до -220 В), при формуванні вакуумно-дугових нанокомпозитів на основі ZrN, дозволяє не тільки управляти переважною орієнтацією кристалітів і субструктурними характеристиками, але і змінює умови сполучення кристалічних решіток в надтонких (близько 8 нм) наношарах.The creation of the scientific foundations for the structural engineering of ultrathin nanolayers in multilayer nanocomposites is the basis of modern technologies for the formation of materials with unique functional properties. It is shown that an increase in the negative bias potential (from -70 to -220 V) during the formation of vacuum-arc nanocomposites based on ZrN makes it possible not only to control the preferred orientation of crystallites and substructural characteristics, but also changes the conditions for conjugation of crystal lattices in ultrafine (about 8 nm) nanolayers.