Газовые анализаторы на основе пленок нанокристаллического карбида кремния
Дата
2018
ORCID
DOI
Науковий ступінь
Рівень дисертації
Шифр та назва спеціальності
Рада захисту
Установа захисту
Науковий керівник
Члени комітету
Назва журналу
Номер ISSN
Назва тому
Видавець
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
Анотація
Опис
Ключові слова
полупроводниковые датчики, газы, газочувствительные сенсоры
Бібліографічний опис
Любов Д. В. Газовые анализаторы на основе пленок нанокристаллического карбида кремния / Д. В. Любов, А, А. Козловский, А. В. Семенов // Інформаційні технології: наука, техніка, технологія, освіта, здоров'я = Information technologies: science, engineering, technology, education, health : наук. вид. : тези доп. 26-ї міжнар. наук.-практ. конф. MicroCAD–2018, [16-18 травня 2018 р.] : у 4 ч. Ч. 1 / ред. Є. І. Сокол. – Харків : НТУ "ХПІ", 2018. – С. 328